不锈钢气体过滤器
SS-A 系列
特点 Feature
超高纯直通型气体过滤器;
全316L 不锈钢结构;
应用于高温和动压;
结构紧凑,接口形式和尺寸多种可选;
流量范围:15 ~ 300 SLPM;
对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性;
3纳米的粒子过滤能力确保了在最小压降下高流量;
5Ra电解抛光表面防止内污染;
去离子水清洗后,热氮气烘干,从而满足半导体工艺标准;
Class 100 洁净室制造、清洗和包装;
100% 氦泄漏测试。
SS-B 系列
特点 Feature
超高纯直通型气体过滤器;
全316L 不锈钢结构;
应用于高温;
结构紧凑,接口形式和尺寸多种可选;
对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性;
3纳米的粒子过滤能力确保了在最小压降下高流量;
5Ra电解抛光表面防止内污染;
去离子水清洗后,热氮气烘干,从而满足半导体工艺标准;
Class 100 洁净室制造、清洗和包装;
100% 氦泄漏测试。
SS-D 系列
特点 Feature
超高纯直通型气体过滤器;
全316L 不锈钢结构;
应用于高温和动压;
结构紧凑,接口形式和尺寸多种可选;
对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性;
3纳米的粒子过滤能力确保了在最小压降下高流量;
5Ra电解抛光表面防止内污染;
去离子水清洗后,热氮气烘干,从而满足半导体工艺标准;
Class 100 洁净室制造、清洗和包装;
100% 氦泄漏测试。
SS-H 系列
特点 Feature
超高纯直通高流量型气体过滤器;
全316L 不锈钢结构;
应用于高温和动压;
结构紧凑,接口形式和尺寸多种可选;
流量范围:100 ~ 800 SLPM;
对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性;
3纳米的粒子过滤能力确保了在最小压降下高流量;
5Ra电解抛光表面防止内污染;
去离子水清洗后,热氮气烘干,从而满足半导体工艺标准;
Class 100 洁净室制造、清洗和包装;
100% 氦泄漏测试。